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ABSTRACT4-8
第一章 综述8-17
1.1 引言8
1.2 GaN基LED介绍8-11
1.2.1 GaN基LED的进展8-9
1.2.2 硅衬底GaN基LED的进展9-11
1.3 GaN基LED外延片曲率测量11-15
1.3.1 外延片弯曲产生及影响11-12
1.3.2 国外在线曲率测量仪介绍12-13
1.3.3 在线曲率测量仪的运用13-15
1.4 本论文的探讨内容及行文安排15-17
第二章 系统测量原理及设计17-23
2.1 Si方格图形衬底介绍17-18
2.2 翘曲度测量基本原理18-20
2.3 寻找光斑方式设计20-22
2.4 小结22-23
第三章 系统硬件设计23-35
3.1 系统整体结构设计23-24
3.2 光学部分硬件设计24-27
3.2.1 光源选择24-25
3.2.2 手动位移台和分光立方体的选择25-26
3.2.3 光电探测器的选择26-27
3.3 机械传动部分硬件设计27-29
3.3.1. 电控位移台的介绍和选择27-29
3.3.2. 步进电机细分驱动器的选择29
3.4 电路部分硬件设计29-34
3.4.1 PCL-722数字量板卡30-31
3.4.2 PCLD-782B光隔离数字量输入板31
3.4.3 同步信号接收电路设计31-32
3.4.4 电控位移台制约电路连接32-34
3.5 小结34-35
第四章 系统软件设计35-47
4.1 系统软件设计概述35-37
4.1.1 开发软件平台VB介绍35-36
4.1.2 程序设计总体框架和界面36-37
4.2 在线曲率测量仪软件设计37-46
4.2.1 步进电机制约程序设计37-40
4.2.2 数据采集程序设计40-41
4.2.3 最小二乘法拟合曲线程序设计41-44
4.2.4 在线绘图程序设计44-46
4.3 本章小结46-47
第五章 系统的调试、运用与实验结果浅析47-58
5.1 系统调试47-50
5.1.1 系统硬件调试47-48
5.1.2 系统软件调试与系统联调48
5.1.3 实现手动测量48-50
5.2 测量仪运用与讨论50-56
5.2.1 实现自动测量50-51
5.2.2 激光干涉曲线与翘曲度曲线相结合51-53
5.2.3 翘曲度变化影响因素浅析53-54
5.2.4 比较实验浅析54-55
5.2.5 系统测量精度及误差浅析55-56
5.3 小结56-58
第六章 总结与展望58-60
致谢60-61
参考文献61-66
附录